型號 AN-L01-18 紫外納秒
機器平臺 面板尺寸500mm X 500mm
激光頭 UV激光3w-20w
掃描裝置 XY雙軸高速掃描振鏡
掃描區域 50mm x 50mm (最大)
X Y Z軸 線性馬達驅動XY軸,絲桿驅動雙Z軸
視覺系統 CCD相機系統
數控系統 NS NC-VFD 控制系統
精度 +/- 15μm
遠程支持 支持遠程應用及維護
輔助設備 冷卻單元(空氣冷凝器 ),吹氣集塵
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